双金属层金属化光纤光栅

温度灵敏度提升

在光纤表面镀上Ni/Ti双金属层，利用双金属热弹性效应放大温度响应，比裸光纤光栅更灵敏。

Li, Cong · 刘明尧 · Song, Han · Wu, Yihang · Siqi, Zhu

Sensors and Actuators, A: Physical 2023

参数信息

相对误差

<5 %

技术优势

热敏系数可设计

通过调整金属层厚度组合，可使温度灵敏度按需变化，且趋势与理论模型一致。

工艺窗口已验证

采用磁控溅射加电镀增厚制备，工艺与配方经优化，实验与理论误差小于5%。

趋势预测可靠

当内层Ti厚1 µm、外层Ni增厚时，灵敏度变化趋势与理论结论一致，验证了模型的合理性。

应用场景

• 高精度温度传感：以比裸FBG更高的灵敏度测温，适合需要高精度的场合。
• 精密仪器与测量：可集成到精密测量系统中，作为高灵敏度温度传感元件。
• 机电组件连接：为FBG与机电组件的连接提供理论指导，便于后续集成。