两级放大尺蠖压电驱动器

高速5.53 mm/s

采用两级放大机构，增大驱动足输出位移并提高驱动效率，结构简化且易于交替驱动。

徐冬梅

Smart Materials and Structures 2023

技术优势

在135 V电压、70 Hz频率下，驱动速度达5.53 mm/s