硅柔性电子晶体管

力电直接调控

利用硅中应变梯度诱导的挠曲电极化场作为栅极,该晶体管将机械应变直接转换为电信号,为硅基机电一体化器件提供了新机制。

国地 · Guo, Pengwen · Ren, Lele · 姚湲 · 王维 · Jia, Mengmeng · 王余龙 · 王隆飞 · 王中林 · 翟俊宜

Science Advances 2023

技术优势

力电直接调控

利用挠曲电极化场等效栅极,机械应变直接调制肖特基势垒高度和沟道宽度,无需额外换能结构。

位置可识别

感知系统不仅能检测应变,还能确定施加机械力的位置,为空间分辨传感提供可能。

应变灵敏度高

基于界面栅控和沟道宽度栅控效应,实现高灵敏度应变检测。

应用场景