AlN厚膜加速度计

600°C稳定工作

直接用反应磁控溅射在钢基上制备AlN厚膜，省去光刻腐蚀减薄，提升能量传递，且与MEMS工艺兼容。

Ting, Lv · Pelenovich, Vasiliy · Chang, Xu · Zeng, Xiaomei · 侯冬杨 · Zechang, Xiong · 杨兵 · 东芳 · 刘胜

Ceramics International 2024

参数信息

灵敏度

6.73 mV/g

谐振频率

1193 Hz

分辨率

0.45 mg

热噪声

39.76 nV/√Hz

高温稳定性

6 h

技术优势

600°C稳定工作

AlN材料本身耐高温，且制备工艺保证了薄膜与基底的结合，使加速度计在600 °C下长期（6 h）灵敏度稳定。

制备更简单

直接在不锈钢基底上溅射AlN厚膜，省去光刻、腐蚀和减薄等复杂步骤，缩短工艺周期。

能量传递效率更高

与硅基压电加速度计相比，制备方法提高了压电层的能量传递效率，从而提升传感器灵敏度。

应用场景

• 高温振动监测：在600 °C下持续监测振动，无需冷却或频繁更换传感器。
• 耐高温MEMS传感器：提供与MEMS工艺兼容的耐高温压电厚膜方案，替代PZT。
• 发动机健康监测：直接安装在发动机高温部件上，实时监测振动异常。
• 航空发动机测试：在航空发动机地面试验中承受高温并稳定输出振动数据。