电容式加速度计接口ASIC

片上自测免振动台

通过片上自测电路在无高精度振动台条件下验证谐波失真，简化了加速度计的生产测试流程。

Xiangyu, Li · 汪鹏君 · Gang, Li · 张跃军

IEEE Transactions on Circuits and Systems I: Regular Papers 2023

参数信息

功耗

7 mW

噪声底

-140 dBV

技术优势

免振动台测试

片上电路模拟加速度信号，可直接在芯片层面测试谐波失真，无需高精度振动台。

降低反馈耦合

时分复用反馈利用数字时序控制，减小反馈信号与检测信号之间的耦合。

集成完整信号链

低噪声电荷敏感放大器和 sigma-delta 调制器实现高精度数字输出，避免片外模拟处理。

应用场景

• MEMS 惯性测量单元：提供低噪声数字输出与片上自测，简化 IMU 集成与产线测试。
• 振动监测：0.14 μg/√Hz 噪声密度与 9 μg 零偏不稳定性适用于高精度振动测量。
• 精密仪器：片上自测与高精度数字输出降低仪器校准对振动台的依赖。
• 无人机导航：低噪声与低功耗特性适合无人机惯性导航中的微小加速度检测。