激光三角离焦测量模块

±1 μm 在线测高

将激光三角测量集成到明场光路中，在扫描成像的同时同步获取晶圆表面高度分布，解决了点扫描暗场散射检测中因离焦导致的缺陷检出率下降问题。

Zhou, Zuoda · Qu, Dingjun · Ruizhe, Ding · 罗海燕 · 熊伟 · 李志伟 · 金伟 · Ru Y. · Shihao, Jia · Hong, Jing

Measurement Science and Technology 2025

具体参数

测量精度

±1 μm

测量重复性

±0.2 μm

高度测量信噪比

41 dB

测量误差

0.2 μm

技术优势

精度达到 ±1 μm

在 69 μm 行程内测量精度优于 ±1 μm，重复性优于 ±0.2 μm，满足点扫描成像系统的测量要求。

噪声抑制提升信噪比

当模拟反射像位置信噪比为 20 dB 时，经修正模型解算的高度测量信噪比达 41 dB，误差小于 0.2 μm，说明模型具有噪声抑制效果。

明场光路集成

将激光三角离焦测量集成到明场光路，无需额外检测通道，在缺陷检测的同时获取高度分布。

应用场景

• 晶圆缺陷检测：在缺陷扫描时同步测高，实时补偿离焦，提高缺陷检出率和尺寸重复性。
• 精密位移测量：以激光三角法实现纳米级高度测量，可作为精密位移测量的在线反馈手段。
• 半导体量测设备：模块可直接嵌入半导体量测设备光路，无需额外检测通道，降低系统复杂度。
• 先进制程在线监测：与运动机构配合在线获取晶圆高度分布，满足先进制程对实时监测的需求。