自时钟MEMS陀螺仪

偏置不稳定性降至0.06°/h

采用自时钟与相位误差校正协同抑制正交误差与阻尼耦合,使模式匹配MEMS陀螺仪的偏置漂移大幅降低,非线性也显著改善。

刘学文 · Junjie, Bi · Guangyang, Chen · 丁徐锴 · 李宏生

IEEE Journal of the Electron Devices Society 2025

参数信息

偏置不稳定性
0.06 °/h
非线性偏差
9 ppm

技术优势

偏置漂移降七成

相位误差校正与自时钟同步采样显著抑制了正交刚度耦合,驱动模态频率自补偿进一步抑制同相阻尼耦合,使偏置不稳定性从0.22°/h降至0.06°/h。

非线性改善四倍

自时钟操作稳定了相位-频率特性,改善了输出线性度,非线性偏差从40 ppm降至9 ppm。

无需改动硬件

自时钟与补偿策略在数字系统中实现,仅通过固件算法即可抑制误差源,避免重新设计MEMS结构或电路。

应用场景