弹簧法珀微腔

声敏低噪成像

一种双光子3D打印在光纤端面的弹簧结构微腔，支持振动模式耦合以增强声学响应。

魏鹤鸣 · Zhangli, Wu · Kexuan, Sun · 张海燕 · Chen, Wang · Kemin, Wang · 杨天 · Pang, Fufei · 张小贝 · 王廷云 · Krishnaswamy, Sridhar Sun

Photonics Research 2023

参数信息

噪声等效声压

2.39 mPa/Hz1/2

共振频率

75 kHz

技术优势

灵敏度高

弹簧结构与圆板振动模式耦合，增强了声学响应。

噪声低

噪声等效声压仅为 2.39 mPa/Hz1/2，可检测微弱声波。

可直接打印

通过双光子聚合直接在光纤端面 3D 打印，无需复杂组装。

应用场景

• 水下声学成像：检测微弱声波，用于水下物体成像。
• 光纤声学传感：在光纤端面集成，实现高灵敏度声学传感。
• 声学检测：以低噪声等效声压实现微弱声波检测。
• MEMS声学器件：采用 3D 打印微结构，实现 MEMS 兼容的声学器件。