自适应螺旋磁流变抛光

中频误差抑制

一种可控螺旋磁流变抛光方法，通过时变间距与螺旋摆动相结合，有效抑制子孔径抛光中的中频误差。

Wang, Bo · 石峰 · 宋辞 · 周平 · Peng, Xing · Qing, Gao · Qiao, Shuo · 铁贵鹏 · Zhang, Wanli · 田野 · Zhai, Dede · Qun, Hao

Light: Advanced Manufacturing 2025

参数信息

中频波纹误差PSD振幅降低

99.938 %

技术优势

抑制特定中频误差

采用时变间距策略控制特征频率，结合螺旋摆动对中频带误差的平滑作用，通过遗传算法优化自适应间距与螺旋角组合，有效抑制特定空间周期的中频误差。

去除函数可变

该方法将恒定去除函数卷积去除变为可变卷积核，打破了传统机制的局限，为全频段协同误差控制提供新思路。

应用场景

• 精密光学元件抛光：用于抑制惯性约束聚变等光学元件的中频误差。
• 微纳制造：在微纳制造中实现高精度表面质量。
• 光学元件制造：用于光学元件制造中的子孔径抛光工序。