无接触高精定位
以新型电磁驱动替代压电陶瓷，结合拓扑优化的柔顺机构，实现无摩擦的高精度平面运动。
Zhao, Dongpo · 陈力 · Zhu, Zihui · 王文 · Du, Hanheng
IEEE Transactions on Industrial Electronics 2025
法向应力电磁致动器无需物理接触即可工作，消除了摩擦和磨损，提升使用寿命和精度。
采用双向进化结构优化方法对柔顺机构进行拓扑优化，获得了最优材料分布，提高了机构刚度与柔性。
通过跟踪阿基米德螺旋线和利萨如轨迹演示了高精度控制，证明平台在实际任务中能保持纳米级精度。