H∞主动气动隔振器

低频共振抑制

一种基于频率整形和输入电压饱和的H∞控制策略，用于主动气动隔振系统，在1–10 Hz低频段实现最大振动抑制，对模型误差具有高鲁棒性。

Xu, Shaofeng · Xiaoxia, Liu · 王一轩 · 孙治博 · JiFan, Wu · 士研

Mechanical Systems and Signal Processing 2024

参数信息

测试激励频率范围

1–10 Hz

技术优势

共振峰和低频干扰被抑制

选择适当的加权函数进行频率特性整形设计，在需要主动控制的频段内实现最大振动抑制。

输入电压饱和约束保证安全

考虑气动隔振系统运行的平稳性和控制通道的安全性，对输入电压进行饱和控制，避免执行器过载。

应用场景

• 精密仪器振动隔离：抑制低频共振，保护精密仪器免受振动干扰。
• 半导体制造设备：降低低频振动对光刻等工艺的影响，提高良率。
• 光学平台隔振：抑制光学平台共振，保证光路稳定性。
• 振动控制：提供鲁棒主动控制算法，可推广到其他振动系统。