石墨烯MEMS微传感器

光驱动即插即用

基于石墨烯无辐射跃迁的距离敏感性,实现无需电源与信号电路的轻便检测方案。

Guanghui, Li · Fengman, Liu · Yang, Shengyi · 刘江涛 · Li, Weimin · Wu, Zhenhua

Carbon 2023

参数信息

力检测限
0.1 pN
加速度检测限
0.1 mg
石墨烯条带偏转检测限
1 nm

技术优势

无需电源

器件可以通过光照射充电,因此不需要连接任何外部电源,适合在难以布线的环境中使用。

远距离读取

产生的信号可以从远距离检测,无需集成无线电反射电路,简化了系统集成。

极高灵敏度

可检测到石墨烯条带1 nm的偏转,对应0.1 pN的力和0.1 mg的加速度,远超传统MEMS传感器。

应用场景