激光改性SiC晶圆

超声辅助剥离力降60%

经激光内部改性的单晶SiC晶圆，在超声辅助下能以更低剥离力完整取下，直接获得6英寸晶圆。

刘瑶

Ceramics International 2024

参数信息

超声振动后改性层结合力降低

25 %

超声功率

700 W

距离

1.5 mm

技术优势

最终剥得6英寸单晶SiC晶圆