混合驱动6-PSS精密平台

断电自锁、多模式驱动

摩擦与电磁并联驱动，兼顾速度、精度和断电自锁，避免了传统宏微平台的复杂运动学。

Chen, Fangxin · 董为

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2025

参数信息

空间光耦合效率

81 %

对准时间

32 s

技术优势

并联驱动避免复杂运动学

摩擦与电磁力并联布置，无需传统宏微平台的串联耦合，减少运动学复杂度和内部干涉。

断电自锁保持位置

平台在断电时能自锁，保持当前位置，无需持续供电，适合需要安全保持的应用。

快速高效光纤对准

该平台用于单模光纤对准，空间光耦合效率在32秒内达到81%，缩短了对准时间并提高了耦合质量。

应用场景

• 精密仪器与测量：提供6自由度精密定位，断电自锁保持位置，适合精密测量设备。
• 光学与光子学：用于光纤对准，实现高耦合效率，加速光路调试。
• 光刻制造：提供高精度定位，可用于光刻过程中的工件对准。