光栅干涉MEMS声传感器

光学读出低噪

采用衍射光栅与敏感薄膜构成干涉仪，通过光学读出替代电容式方案，消除空气阻尼限制，适用于高性能声学传感。

李艳 · Minghao, Zuo · 陶继方

IEEE Sensors Journal 2023

具体参数

信噪

约43 dB

技术优势

频率响应与商用参考麦克风在可听范围内一致