堆叠硅纳米线通道

直径20±2 nm

嵌入式前驱体馈送实现水平堆叠硅纳米线阵列的径向一致性与高达九成的生长良率，为单片三维集成晶体管提供可靠沟道。

Liang, Lei · Qian, Wentao · Lei, Yan · Mingyu, Xie · Wei, Liao · 王军转 · Yu, Linwei

ACS Nano 2025

具体参数

Diameter

{'zh': '', 'en': '2'} nm

生长良率

{'zh': '>90', 'en': '>90'} %

亚阈值摆幅

{'zh': '~160', 'en': '~160'} mV/dec

技术优势

开关比 ~10^8