挤压膜阻尼位移传感器

非接触亚纳米分辨

基于挤压膜阻尼效应的位移传感器，不受样品材料限制，适用于微纳制造与运动控制中的精密位移测量。

Zhai, Shenghang · 施佳林 · 玉鹏 · Tie, Yang · 杨洋 · Su, Chanmin · 刘连庆

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023

参数信息

带宽

515 Hz

技术优势

非接触测量

该方法不与样品表面接触，从而避免对易损表面造成损伤或污染。

不受材料性质限制

传感器对被测样品的光学或电学性质不敏感，因此可用于导体、绝缘体等各类材料。

应用场景

• 微纳位移测量：用于微纳尺度位移的亚纳米精度检测，替代接触式测量以避免损伤。
• 微纳制造过程监控：在线监控微纳加工过程中的位置与间距，无需接触即可实时反馈。
• MEMS器件测试：用于MEMS器件运动特性的非接触测量，不干扰器件工作。