间隙流场MIMO运动系统

亚微米级精度

在间隙流场扭矩扰动下实现多输入多输出运动的精确控制，为半导体设备等领域提供了亚微米级精度的解决方案。

Jin, Luo · 阮晓东 · Jing, Wang · 苏芮 · 胡亮

Actuators 2026

技术优势

亚微米精度

通过复合控制策略，抑制了宽频时变扭矩扰动并解除了轴间耦合，将定位精度提升到亚微米级。

解耦更彻底

结合标称解耦矩阵与反馈补偿校正，将多输入多输出系统解耦，降低了轴间相互干扰。

抗扰能力强

采用基于扰动观测器的控制与H∞控制相结合，能应对间隙流场造成的宽频时变扰动。

应用场景

• 精密运动平台：为精密运动平台提供亚微米级定位能力，对抗流场等外部扭矩扰动。
• 半导体设备控制：满足半导体设备对多轴运动控制的亚微米精度要求，应对间隙流场干扰。
• 多轴运动控制：同时处理多轴耦合与宽频扭矩扰动，实现稳定高精度运动。
• 微流控系统：在存在间隙流场的微流控环境中，实现受控对象的精确运动控制。