通过分子动力学模拟揭示纳米研磨参数对GaN亚表面损伤和晶体结构的影响，为超精密加工优化提供指导。
Pengyue, Zhao · Xifeng, Gao · 赵勃 · Wang, Shunbo · Zhang, Dou · 伍歆 · Shujun, Huang · 李铎 · 吴剑威
Journal of Manufacturing Processes 2023
研磨速度与加工后表面形貌和晶体相变密切相关，可通过调节速度控制表面质量。
研磨深度显著影响表面形貌、相变、位错、加工力及残余应力分布，是控制亚表面损伤的关键参数。