掺铟氮化镓单晶

耐磨及塑变机理清晰

掺铟氮化镓单晶在纳米研磨中展现出独特的塑性变形行为，为高精度加工半导体提供新见解。

Tiankun, Li · Zhao, Pengfei · 尚福林

Tribology International 2024

技术优势

亚表面损伤更薄

掺铟降低了亚表面损伤层厚度，有利于保持加工后的表面完整性。

抑制相变

掺铟抑制了研磨过程中的相变，有助于维持材料的晶体结构稳定性。

应用场景

• 氮化镓半导体加工：用于优化氮化镓晶片的研磨工艺，减少亚表面损伤并控制位错行为。
• 超精密磨削：提供掺铟氮化镓在纳米研磨下的变形机理，指导超精密加工参数选择。
• 半导体表面完整性：通过抑制相变和降低损伤层厚度，提升加工表面的完整性。