对焦质量提升4%
以工程师反馈为引导的区域化自动对焦网络，使不同晶圆区域都能获得稳定清晰成像，免去人工调焦与选区的重复劳动。
Wang, Ruoyu · 刘暾东
Optics Express 2025
网络直接从当前图像帧估计焦平面，无需人工调整焦点或选择感兴趣区域，减少了晶圆检测中的人工操作。
通过深度网络估计焦平面并在强化学习框架下利用工程师反馈进行微调，解决了对焦算法在不同晶圆区域上泛化有限的问题。
实验表明，所提出方法在聚焦质量上平均提升约4.0%，提高了晶圆显微成像的清晰度。