X射线相衬模板
定量测定灵敏度
一种刻有不同倾角的周期性模板,可在级联光栅干涉仪上实际测出最小可检测折射角。
李冀
2023
参数信息
最小可检测折射角
0.1 μrad
模板结构周期
4 mm