击穿电压超3 kV
金刚石上异质外延ε-Ga2O3形成原子级尖锐界面,实现超宽带隙pn异质结,结合轻掺杂金刚石漂移层有效抑制电场拥挤,兼顾高效热管理。
Zhang, Jianguo · 刘宁涛 · Chen, Li Li · 杨珣 · Guo, Haizhong Zhongi · Ming-Qian, Yuan · 杨剑群 · Liu Guangtong · 单崇新 · 叶继春 · Zhang, Wenrui
Nano Letters 2024
由于界面原子级尖锐且形成C-O-Ga键合,有效抑制了电场拥挤,击穿电压超过3000 V。
异质外延ε-Ga2O3薄膜与金刚石衬底形成原子级尖锐界面,确保了高质量的pn结。
轻掺杂金刚石作为漂移层,与高质量界面结合,提供了成本效益高的热管理途径。