光载波微波干涉位移传感器

灵敏度翻倍

相同带宽下测量灵敏度是宽带光源系统的两倍以上，量程超过40毫米，精度优于4微米。

Li, Zhonghao · Gu, Sanfeng · 冯丹祺 · Nan, Xinhao · 邓明 · Tao, Zhu

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

测量灵敏度

2

测量范围

40 mm

测量精度

4 μm

稳定性

±2 μm

技术优势

灵敏度翻倍

采用激光作为光载波，相比宽带光源系统减小了初始相位，灵敏度提升至两倍以上。

量程超40 mm

该系统可实现超过40 mm的位移测量，适用于大范围监测场景。

精度4 μm

测量精度达到4 μm，满足精密计量需求。

应用场景

• 精密位移测量：替代传统干涉仪，实现宽范围高灵敏度位移监测。
• 光学干涉测量：利用光载波技术减小初始相位，提升干涉测量灵敏度。