ITZO深紫外光电晶体管

可探测深紫外且响应度高

该器件采用共溅射ITZO薄膜并通过钝化层抑制近紫外响应,展现出高载流子迁移率和低阈值电压,可兼作传感与读出电路。

Delang, Lin · 周长见 · 罗东向 · Liu, Baiquan · Chen, Rongsheng

IEEE Electron Device Letters 2023

具体参数

响应度
416 A/W
阈值电压
0.8 V
载流子迁移率
30.7 cm²V⁻¹s⁻¹
近紫外抑制比
3.26×10³

技术优势

响应度极高

在零栅压下即可达到416 A/W的响应度,探测深紫外信号无需额外栅压驱动。

抑制近紫外干扰

通过改性钝化层将器件对近紫外光的响应抑制,从而提高深紫外探测的准确性。

迁移率高

30.7 cm²V⁻¹s⁻¹的迁移率高于a-Ga₂O₃器件,使传感器能兼任信号处理,简化系统。

应用场景