等离子气泡微反应器

局域高温热化学反应

利用等离子体气泡作为受限微反应器,在气泡内对有机分子进行局域热化学反应,并将产物沉积在基底上形成表面微结构。

Wang, Zeyu · 王玉亮

Small 2025

技术优势

界面处微加工

反应产物仅沉积在激光照射区域内的基底上,从而能够在所需位置形成微结构,而无需使用掩模。

形貌可调

通过调节关键控制参数,可以很好地调控所形成结构的形貌和尺寸。

应用场景