单晶金刚石压力敏感膜

高温压力传感可用

飞秒激光深蚀刻解决金刚石硬脆难加工难题，成品膜底部粗糙度大幅降低，可直接用于高温压力传感器。

Shunyong, Jiang · 侯冬杨 · Xiuming, Liu · Jinlian, Chen · Ting, Lv · Aidi, Xiao · 王啟军 · 东芳 · 刘胜

Materials Science in Semiconductor Processing 2026

参数信息

盲孔底部表面粗糙度

0.33 μm

刻蚀深度误差

0.9 %

技术优势

深度误差小于1%

多步刻蚀策略让盲孔深度控制得很准，膜厚一致性有保障。

底部粗糙度减半

优化扫描参数后，盲孔底部平均粗糙度从0.65 μm降到0.33 μm，传感器灵敏度更高。

激光损伤可洗掉

激光刻蚀引入的非金刚石碳相用浓硫酸清洗就能去除，不影响膜片质量。

应用场景

• 高温压力传感器：直接在高温环境测压力，不用冷却或更换传感材料。
• MEMS压力芯片：金刚石膜片可作MEMS芯片核心，耐高温且灵敏度高。
• 航空航天传感：发动机等高温部位压力监测，金刚石能扛住极端条件。
• 激光微加工：用飞秒激光刻蚀硬脆材料，实现高精度微结构加工。