变参数双极性脉冲微电极

一机蚀刻多形貌

通过变参数双极性脉冲液膜电化学蚀刻，在不更换加工模式的情况下仅调整参数即可制备液滴形、锥形和圆柱形等多种形貌的微电极。

Wu, Xiujuan · Li, Wang · Yang, Tao · Weijing, Kong · Hang, Yusen · 曾永彬

Journal of Materials Processing Technology 2025

技术优势

不用换工艺

保持加工模式不变，仅调整正负电压和加工时间等参数即可制造不同形状的电极，展示出良好的加工灵活性。

电解产物可控

通过调节加工参数，可以精确控制电解产物在电极表面的生成与分散，从而塑造电极形貌。

圆柱电极更均匀

采用重复变参数方法缓解了电解产物涂层导致的蚀刻速度不一致问题，制备出尺寸均匀的圆柱形电极。

应用场景

• 生化微传感探针：液滴形与锥形微电极尖端尺寸小，可用于高空间分辨率的生化信号探测。
• 微流控电极组件：均匀圆柱形微电极易于集成到微流控通道中，作为稳定的电极组件。
• 微纳加工工具：该方法仅通过调整参数即可加工多种形貌，可作为灵活的微纳加工工具。