高功率外延单晶金刚石

低缺陷高载流子迁移率

通过高功率密度外延生长的单晶金刚石,杂质和位错密度显著降低,满足辐射探测应用要求。

Ding, Senchuan · 张金风 · 苏凯 · 任泽阳 · Junfei, Chen · Zhiqing, Yang · 张进成 · 74227950

Science China Materials 2024

参数信息

X射线摇摆曲线半高宽
15 arcsec
电荷收集效率
97.03 %
电子能量分辨率
2.1 %
空穴能量分辨率
1.5 %
电子迁移率-寿命乘积
8 × 10⁻⁵ cm² V⁻¹
空穴迁移率-寿命乘积
4.1 × 10⁻⁴ cm² V⁻¹

技术优势

晶体质量高

通过压缩等离子体球并优化碳氢比,显著降低杂质和位错密度,X射线摇摆曲线半高宽仅15 arcsec,室温光致发光无杂质发射带。

探测器性能佳

200-µm厚金刚石外延膜制备的辐射探测器对α粒子响应,电荷收集效率高达97.03%,能量分辨率优异。

成本更低

外延方法在满足辐射探测严苛要求的同时降低了成本,有利于商业应用。

应用场景