飞秒激光高效制造
通过飞秒激光等离子体光刻与空间光调制结合,在氧化石墨烯薄膜上一步制备有序亚波长微纳结构电极,大幅提升微型超级电容器性能与集成度。
Zhang, Yuyuan · Zou, Tingting · 姜浩博 · Fu, Xiuyan · 辛巍 · Li, Xilin · Cao, Jun Ming · 林杨 · 李远征 · 刘为振 · 韩冬冬 · Wu, Xing Long · 杨建军 · 徐海阳 · 刘益春
Light: Science and Applications 2026
加工效率比传统激光直写高数个数量级