微纳结构石墨烯杂化电极

飞秒激光高效制造

通过飞秒激光等离子体光刻与空间光调制结合,在氧化石墨烯薄膜上一步制备有序亚波长微纳结构电极,大幅提升微型超级电容器性能与集成度。

Zhang, Yuyuan · Zou, Tingting · 姜浩博 · Fu, Xiuyan · 辛巍 · Li, Xilin · Cao, Jun Ming · 林杨 · 李远征 · 刘为振 · 韩冬冬 · Wu, Xing Long · 杨建军 · 徐海阳 · 刘益春

Light: Science and Applications 2026

具体参数

Device density
{'zh': '', 'en': '> 25'} units inch⁻²
比电容
{'zh': '~41.4', 'en': '~41.4'} F cm⁻³
次循环后容量保持率
{'zh': '93', 'en': ''} %

技术优势

加工效率比传统激光直写高数个数量级