硅基X射线吸收光栅

免特种电镀液

通过预置电极结构增强导电性对比，实现自底向上的均匀金电镀，无需专用电解液即可制造高深宽比、无空隙的X射线吸收光栅。

李冀

Nami Jishu yu Jingmi Gongcheng/Nanotechnology and Precision Engineering 2026

参数信息

深度

55 μm

技术优势

周期 6 μm

无空隙金吸收光栅

可使用商用无氰镀金液