立方(Ti,Al)N/TiN多层膜

界面无混溶层

区别于(Ti,Al)N/ZrN多层膜，该膜在界面处不形成(Ti,Zr)N混合层，保持纯净的TiN缓冲界面。

Zhang, Jie · 许雨翔 · Liu, Zheren · Du, Jian W. · Hu, Chun · 陈利 · 孔毅

Applied Surface Science 2023

技术优势

界面干净无混溶

界面处不形成(Ti,Zr)N混合层，TiN子层保持纯净，避免了混合层可能带来的性能波动。

结构稳定面心立方

多层膜整体保持面心立方结构，且界面共格，有利于维持高硬度。

沉积过程可控

第一性原理计算预测(Ti,Al)N/TiN多层膜表面吸附原子几乎恒定，没有选择性吸附导致的界面偏析，工艺窗口更宽。

应用场景

• 硬质涂层：提供界面纯净的高硬度涂层，用于刀具和耐磨件表面。
• 切削刀具：涂层无混合层，可减少切削过程中的元素互扩散，延长刀具寿命。
• 耐磨部件：共格界面提高涂层结合力和耐磨性。
• 机械零件表面强化：可在复杂形状部件表面制备高质量多层膜，提高表面强度。