压电丝杠电机

静动态兼优

同一台电机在静态、准静态和谐振三种模式下运行，兼具纳米级定位精度与高速运动能力，适应精密仪器对速度和分辨率的双重需求。

潘巧生 · Xiaozhu, Chen · Zhang, Yifang · Aode, Wan · 錢金貴 · Xingjian, Jing

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2024

参数信息

静态模式下分辨率

0.5 nm

准静态模式

1000 Hz

谐振模式

10.4 kHz

技术优势

一台顶多种执行器

静态、准静态和谐振三种模式共用同一结构，不再需要为高速定位和纳米分辨率分别配置不同的驱动装置。

应用场景

• 精密定位平台：同一平台实现纳米定位与快速移动，省去双执行器切换。
• 显微操作：0.5 nm 分辨率和 650 g 负载，可精细抓取微小物体。
• 光学对准：静态模式纳米级微调对准元件，高速模式快速预定位。
• 脑机接口手术：高分辨率与多模式运动适配脑机接口电极的精细植入。