定向磁致伸缩CoFe膜

双模柔性传感

磁场辅助电沉积使Co70Fe30薄膜沿(200)易磁化方向取向生长,兼具高磁致伸缩与低磁滞损耗,可直接集成于柔性传感器。

Qian, Wang · 李明明 · 翁玲 · 黄文美

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

磁能损耗降低
20.87 %
磁场灵敏度
1.78 mV/(kA/m)
手势识别准确率
95.83 %

技术优势

损耗更低

磁场辅助电沉积使薄膜晶粒沿易磁化方向取向,降低磁化不可逆性,磁能损耗降低最高达20.87%,利于高频应用。

双模传感

传感器由两层FPC线圈和一层CoFe膜构成,同时响应弯曲应变和磁场,互不干扰。

手势识别率高

基于双模感知,12种手势用朴素贝叶斯分类器准确率达到95.83%,超过传统应力/弯曲传感器。

应用场景