成本降六成，精度0.3Hz
基于图像识别的自动激光微调系统，将硅MEMS谐振器的手动修调时间从1小时缩短至1分钟，频率微调精度优于0.3Hz。
Liu, Yuxian · 赵前程 · 张大成 · 崔健
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2023
基于OpenCV的形状匹配算法和CPDA算法自动测量谐振器图像，省去人工对准和测量步骤，单器件修调从1小时以上降至1分钟以内。
用皮秒激光器替代飞秒激光器完成微调，在保持所需精度的同时，系统成本降低超过60%。