力频系数提升
相比矩形晶片，梯形石英晶片在悬臂梁结构中应力分布更均匀，将电极靠近固定端可进一步提高力频系数，为高灵敏度谐振式力传感器设计提供新途径。
鲁聪达
Sensors 2024
梯形晶片与悬臂梁结构的应力分布优于矩形芯片
电极靠近固定端时矩形石英晶片的力频系数增加