并联可调电阻MEMS热风传感器

温度漂移近消除

一种在环境温度传感电阻上并联可调电阻的MEMS热风传感器，通过改变等效电阻实现温度漂移补偿，无需改变器件结构或增加复杂校准流程。

Bo, Qi · Yi, Zhenxiang · Qin, Ming · Huang, Qing'an

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023

参数信息

最大相对误差

2.70 %

最大相对误差

2.17 %

最大相对误差

2.24 %

误差降低百分比

91.28 %

误差降低百分比

89.67 %

误差降低百分比

83.23 %

技术优势

误差降九成

与未补偿器件相比，三个传感器的最大风速误差分别降低了91.28%、89.67%和83.23%。

应用场景

• MEMS传感器：用于集成到各类环境监测设备中，提升风速测量精度。
• 风速监测：替代传统风速计，在全温区提供稳定读数。
• 气象仪器：用于气象站，在宽温范围下准确测风。