锗垂直GAA场效应晶体管

Xie, Lu; Zhu, Huilong; Zhang, Yongkui; Ai, Xuezheng; Li, Junjie; Wang, Guilei; Liu, Jinbiao; Du, Anyan; Yang, Hong; Yin, Xiaogen; Huang, Weixing; Chen, Li Li; Li, Yangyang; Wang, Qi; Lu, Shunshun; Kong, Zhenzhen; Xiang, Jinjuan; Du, Yong; Luo, Jun; Li, Junfeng; Radamson, Henry H.; Wang, Wenwu; Ye, Tianchun

锗垂直GAA场效应晶体管

开态电流创纪录

专为锗纳米线/纳米片p型垂直器件设计的自对准高κ金属栅，可精准控制栅长与沟道尺寸，且工艺兼容主流CMOS。

Xie, Lu · 朱慧珑 · 张永奎 · Ai, Xuezheng · 李俊杰 · Wang, Guilei · 刘金彪 · 都安彦 · Yang, Hong · 尹小根 · Huang, Weixing · Chen, Li Li · 李秧秧 · Wang, Qi · Lu, Shunshun · Kong, Zhenzhen · 项金娟 · Du, Yong · 罗俊 · 李峻峰 · Radamson, Henry H. · 王文武 · 叶甜春

ACS Nano 2023

具体参数

开态电流: ~291 μA/μm
Channel size: 20 nm

技术优势

自对准高κ金属栅

工艺兼容主流CMOS