温度位移可精确预测
采用广义有限差分法模拟电热微执行器的热-力行为，计算结果与实验及有限元高度吻合，为MEMS执行器设计提供高效分析工具。
Hao, Chen · Xiaoyu, Kong · 孙向东 · Yuan, Haiyang
Micromachines 2025
与实验和有限元结果高度吻合
计算效率高