多通道MEMS-FAIMS气体传感器

小体积快响应

小型化的MEMS-FAIMS传感器能够在保持连续工作的同时快速检测环境中的VOCs气体。

Zhao, Zhujie · 雷程 · 梁庭 · 张俊娜 · Ghaffar, Abdul · 熊继军

Micromachines 2023

具体参数

异丁烯浓度

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异丁烯浓度

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丙酮浓度

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丙酮浓度

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技术优势

线性度0.961（检测异丁烯）

线性度0.987（检测丙酮）