600 °C 低温烧结
在空气中600 °C烧结即可形成致密SiC超滤层,避免高温和惰性气氛,大幅降低制备成本。
Juan, Wang · Wang, Xiaoyu · Yongzhao, Yang · Qianlong, Fu · Feng, Hu · 张子健 · 李双
Journal of the European Ceramic Society 2025
膜在 600 °C 空气环境中即可烧结,而传统碳化硅膜通常需要 >2000 °C 高温和惰性气氛。
低温氧化过程避免了晶态二氧化硅的出现,有利于保持膜的化学稳定性和渗透性。
该工艺无需长时间高温加热和惰性气体保护,显著降低生产能耗和设备复杂度。
选择层仅由 α-SiC 和 β-SiC 构成,没有引入其他杂相,确保了膜材料的本征性能。