凸起隔膜传感芯片

灵敏倍增

面向应急场景的3D打印压力传感器，凸起隔膜结合环形槽结构显著提升灵敏度并降低非线性。

Mingda, Ping · Xiangrui, Ji · 刘艳 · 王卫东

Sensor Review 2025

参数信息

灵敏度

2.8866 mV/kPa

非线性

6.81 %

技术优势

灵敏度翻倍

中央凸起和环形槽结构重新分布应力，使灵敏度和线性度同时提升。

快速制造

隔膜采用SLA 3D打印，电路采用丝网印刷，可在短时间内生产出原型。

应用场景

• 压力传感器：为应急环境快速提供压力测试能力
• MEMS器件：微加工技术实现的小型化压力检测器件
• 3D打印传感器：利用3D打印快速制造定制化传感结构
• 可穿戴压力监测：柔性或可穿戴设备中的压力感知功能