烧结铜纳米颗粒

微柱强度超800 MPa

面向微电子互连的纳米铜烧结体,通过晶粒细化与位错调控实现了微米尺度下的高强度,为高密度封装提供力学可靠的互连材料。

Xuyang, Yan · Leiming, Du · Chao, Gu · Tiancheng, Tian · 高宸山 · 张国祺 · 樊嘉杰

Materials Science & Engineering A: Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing 2025

参数信息

屈服强度 (2 μm微柱)
812 MPa
屈服强度 (6 μm微柱)
643 MPa
晶粒尺寸减小
24.9 %
几何必需位错密度增加
74.8 %
弹性模量 (纳米压痕)
48.3 GPa
弹性模量 (微柱)
29.5–33.9 GPa
高滑移活性晶粒比例增加
62 %

技术优势

微柱强度超过800 MPa

2 μm微柱屈服强度达812 MPa,位错饥饿与晶粒细化共同作用,满足微互连力学要求。

晶粒动态细化

压缩后晶粒尺寸再减小24.9%,持续强化并适应变形,抑制应变局部化。

位错密度大幅上升

几何必需位错密度增加74.8%,应变梯度硬化显著,提升抗变形能力。

应用场景