硬度高达34.8 GPa
通过Si靶功率调控实现致密纳米纤维结构，在保持机械性能的同时可调节电学和光学特性。
Tsai, Ducheng · Chang, Zue Chin · Po-Sheng, Kuo · Chen, Erhchiang · Huang, Yenlin · Shieu, Fuh Sheng
Journal of Materials Research and Technology 2023