(三甲基硅基)甲基亚氨基钼配合物

室温合成新前体

在室温下通过简便合成获得的新型钼亚氨基配合物，其热稳定性和挥发性均表现出色，有望成为ALD前体。

Younian, Tang · Fan, Wu · Huiying, Chen · Chai, Jialu · Chen, Xu Dong · 奚斌

Inorganic Chemistry Communication 2023

技术优势

室温合成

良好热稳定性

良好挥发性