GST纳米盘集成光开关

超紧凑低插损

利用逆向设计的像素化亚波长结构,在保持高消光比的同时显著降低了插入损耗并缩小器件尺寸,为片上光互连提供了一种可批量制备的单元器件。

Yin, Kun · 高阳 · 朱世强

Nanomaterials 2023

参数信息

插入损耗
0.45 dB
消光比
18.0 dB
器件尺寸(长 × 宽)
0.9 × 1.5 μm²

技术优势

插损更低

像素化亚波长结构提供传统材料无法实现的定制折射率,增强了光场与GST的相互作用,从而将插入损耗降至0.45 dB。

消光比够高

在1550 nm处消光比达到18.0 dB,能有效区分开关状态,满足片上光互连对信号对比度的要求。

占地极小

器件总尺寸仅0.9 μm × 1.5 μm,像素化结构增强了光场与GST的相互作用,从而缩小了器件尺寸和GST占位面积。

工艺容差好

即使制造过程中存在微小变化,该器件仍能可靠工作,降低了批量生产的难度。

应用场景