高压沉积减残余应力
通过提高沉积压力细化晶粒并改变择优取向，有效降低拉伸残余应力甚至局部转为压应力，解决SiC涂层在核燃料包壳应用中的开裂问题。
Zhennan, Xu · Xin, Huang · 陈招科 · Xie, Fengminyu · Xue, Jiaxiang · Rongkun, Yang · Yang, Zhengmao · 熊翔
Surface and Coatings Technology 2026
8 kPa沉积压力下，残余拉应力局部转变为压应力，从而抑制涂层开裂。
提高沉积压力增强形核密度并细化晶粒，提升涂层致密性。
增加沉积压力使择优取向从(111)变为(220)，可调控涂层微观结构。
应力优先在晶界集中，而非晶粒内部，为应力调控提供机制认识。