晶圆级厚度可控
在2英寸蓝宝石衬底上实现二维范德华铁磁体的层状外延生长,厚度可精确控制且表面均匀,有助于可靠的磁存储器件开发。
Xinqi, Liu · Puyang, Huang · Xia, Yunyouyou Y. · 高蕾 · Liao, Liyang · Cui, Baoshan · Backes, Dirk · van der Laan, Gerrit · Hesjedal, Thorsten · Ji, Yuchen · Chen, Peng · Zhang, Yifan · Wu, Fan · 王美晓 · 张俊卫 · 于国强 · 宋成 · Chen, Yulin · Liu, Zhongkai · 杨雨梦 · 彭勇 · 李罡 · 要精 · Kou, Xufeng
Advanced Functional Materials 2023
在2英寸蓝宝石衬底上外延生长
厚度可精确控制至三个单层以上