柔性Mo₂C图案

20–1273 K超稳热敏

直接在柔性云母上原位生长的碳化钼图案，实现从室温到1273 K的超宽温域稳定热传感，且响应极快。

Li, Weiwei · Xu, Manzhang · Yingzhe, Li · 李磊 · 郑璐 · 王学文

Small 2026

参数信息

工作温度范围

20–1273 K

电阻温度系数

1.7 %/K

响应时间

26 ms

热稳定性

4 h

薄膜厚度

10–70 nm

电阻

2–0.1 kΩ

技术优势

原位生长，结合牢固

Mo₂C直接在云母基底上生长，依靠高内聚能和强界面结合，避免了图案转移带来的剥离和失效风险。

高温下依然稳定

在873 K保持4小时后性能不衰减，使传感器可长期工作于高温环境。

响应极快

响应时间约26 ms，可捕捉快速温度变化，适合动态监控。

电阻可调

通过控制喷墨打印循环次数，可在2至0.1 kΩ范围内调节电阻，适应不同电路需求。

应用场景

• 高温热传感器：直接在高温部位安装柔性传感层，实时监测温度，替换刚性热电阻。
• 柔性温度传感：贴附于曲面或运动部件，测得宽温域快速温度变化。
• 柔性电子：作为高温兼容的柔性电子功能层，集成到耐热电路中。
• 航空航天热管理：监测发动机或热防护系统表面温度，轻质柔性不易脱落。
• 高温环境监测：部署在炉体、排气管等高温区域，长期稳定采集温度数据。