高密度微孔阵列
用紫外纳秒脉冲激光在C194铜箔上打出高精度、高均匀性的穿透微孔阵列，工艺环保且精准可控。
Yujie, Han · 张俊杰 · Liu, Yuan · Min, Sheng · 王晓慧 · 孙涛
Optics and Laser Technology 2023
通过标定材料参数和仿真迭代，激光微钻加工的微孔尺寸精度和均匀性高，可满足引线框架制造要求。
紫外激光微钻是一种干式加工方法，不使用化学试剂，相比传统蚀刻更环保。
通过仿真预测重复扫描次数，实现加工深度的定量控制，从而精确加工穿透微孔。